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TH511 半導體C-V特性分析儀簡介

更新時間:2023-08-08點擊次數:695
  • 簡介

  • TH510系列半導體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據當前半導體功率器件發(fā)展趨勢,針對半導體材料及功率器件設計的分析儀器。

    儀器采用了一體化集成設計,二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試,無需頻繁切換接線及設置參數,單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試,適用于生產線快速測試、自動化集成。

    CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

    儀器設計頻率為1kHz-2MHz,VGS電壓可達±40V,VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V,足以滿足大多數功率器件測試。

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    功能特點

     

    A.一體化測試,集成度高、體積小、效率高

    一臺儀器內置了LCR數字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件,將復雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內,操作更簡單。特別適合產線快速化、自動化測試。

    B.單管器件測試,10.1寸大屏,四種寄生參數同屏顯示,讓細節(jié)一覽無遺

    MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數:Ciss、Coss、Crss、Rg,Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試,10.1寸大屏可同時將測量結果、等效電路圖、分選結果等重要參數同時顯示,一目了然。

    一鍵測試單管器件器件時,無需頻繁切換測試腳位、測量參數、測量結果,大大提高了測試效率。

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    C.列表測試,多個、多芯、模組器件測量參數同屏顯示

    TH510系列半導體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試,所有測量參數通過列表掃描模式同時顯示測試結果及判斷結果。

    D.曲線掃描功能(選件)

    在MOSFET的參數中,CV特性曲線也是一個非常重要的指標,如下圖

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    TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以以對數、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描,可同時顯示多條曲線:同一參數、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數多條曲線。

    E.接觸檢查(Contact)功能,提前排除自動化測試隱患

    F.快速通斷測試(OP_SH),排除損壞器件

    在半導體器件特性測試時,由于半器件本身是損壞件,特別是多芯器件其中一個芯已經損壞的情況下,測試雜散電容仍有可能被為合格,而半導體器件的導通特性才是最重要的特性。

    因此,對于本身導通特性不良的產品進行C-V特性測試是沒有必要的,不僅僅浪費了測量時間,同時會由于C-V合格而混雜在良品里,導致成品出貨后被退回帶來損失.

    TH510系列半導體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試(OP_SH)功能,可用于直接判斷器件本身導通性能。

    G.模組式器件設置,支持定制

    針對模組式器件如雙路(Dual)MOSFET、多組式IGBT,有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化,常見模組式芯片Demo已內置,特殊芯片支持定制.

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    H.簡單快捷設置

    I.10檔分選及可編程HANDLER接口

    J.支持定制化,智能固件升級方式

    同惠儀器對于客戶而言是開放的,儀器所有接口、指令集均為開放設計,客戶可自行編程集成或進行功能定制,定制功能若無硬件更改,可直接通過固件升級方式更新。

    儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等,都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新,而無需返廠進行。

    固件升級非常智能,可以通過系統(tǒng)設置界面或者文件管理界面進行,智能搜索儀器內存、外接優(yōu)盤甚至是局域網內升級包,并自動進行升級

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    K.技術解決Ciss、Coss、Crss、Rg產線/自動化系統(tǒng)高速測試精度

    同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經驗積累,得以在產線、自動化測試等高速高精度測試場合,都能保證電容、電阻等測試精度。

    常規(guī)產線測試,提供標準0米測試夾具,直插器件可直接插入進行測試,Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。

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    針對自動化測試,由于自動化設備測試工裝通常需要較長連接線,大多自動化設備生產商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差,為此,同惠設計了2米延長線并內置了2米校準,保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

    L.半導體元件寄生電容知識

    在高頻電路中,半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態(tài)特性,所以在設計半導體元件時需要考慮下列因數

    在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來的影響;MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅動能力和開關損耗等多方面特性;寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要,以MOSFET為例。

    M.標配附件

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  • 應用

  •  半導體元件/功率元件

    二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

    電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

     半導體材料

    晶圓切割、C-V特性分析

     液晶材料

    彈性常數分析

    電容元件

    電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析

  • 技術參數

  • 產品型號

     

    TH511

    TH512

    TH513

    通道數

     

    2(可選配4/6通道)

     

    1

    顯示

    顯示器

     

    10.1英寸(對角線)電容觸摸屏

    比例

     

    16:9

    分辨率

     

    1280×RGB×800

    測量參數

     

    CissCoss、CrssRg,四參數任意選擇

    測試頻率

    范圍

     

    1kHz-2MHz

    精度

     

    0.01%

    分辨率

     

    10mHz                 1.00000kHz-9.99999kHz

    100mHz               10.0000kHz-99.9999kHz

    1Hz                      100.000kHz-999.999kHz

    10Hz                    1.00000MHz-2.00000MHz

    測試電平

    電壓范圍

     

    5mVrms-2Vrms

    準確度

     

    ±10%×設定值+2mV

    分辨率

     

    1mVrms               5mVrms-1Vrms

    10mVrms             1Vrms-2Vrms

    VGS電壓

    范圍

     

    0 - ±40V

    準確度

     

    1%×設定電壓+8mV

    分辨率

     

    1mV               0V - ±10V

    10mV             ±10V -±40V

    VDS電壓

    范圍

     

    0 - ±200V

     

    0 - ±1500V

    0 - ±3000V

    準確度

     

    1%×設定電壓+100mV

    輸出阻抗

     

    100Ω,±2%@1kHz

    數學運算

     

    與標稱值的絕對偏差Δ,與標稱值的百分比偏差Δ%

    校準功能

     

    開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD

    測量平均

     

    1-255

    AD轉換時間(ms/次)

     

    快速+0.56ms(5kHz) 快速:3.3ms 中速:90ms 慢速:220ms

    最高準確度

     

    0.5%(具體參考說明書)

      Ciss、Coss、Crss

     

    0.00001pF - 9.99999F

    Rg

     

    0.001mΩ - 99.9999MΩ

    Δ%

     

    ±0.000% - 999.9%

    多功能參數列表掃描

    點數

     

    50點,每個點可設置平均數,每個點可單獨分選

    參數

     

    測試頻率、Vg、Vd、通道

    觸發(fā)模式

     

    順序SEQ:當一次觸發(fā)后,在所有掃描點測量,/EOM/INDEX只輸出一次

    步進STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量,每點均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結果只在最后的/EOM才輸出

    圖形掃描

    掃描點數

     

    任意點可選,最多1001

    結果顯示

     

    同一參數、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數多條曲線

    顯示范圍

     

    實時自動、鎖定

    坐標標尺

     

    對數、線性

    掃描參數觸發(fā)方式

     

    Vg、Vd

    單次

    手動觸發(fā)一次,從起點到終點一次掃描完成,下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描

    連續(xù)

    從起點到終點無限次循環(huán)掃描

    結果保存

     

    圖形、文件